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叁坐标测量仪是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为叁坐标测量机或叁坐标量床。

工作原理：通过在叁个相互垂直的方向上有导向机构、测长元件、数显装置，测头可以以手动或机动方式移动到被测点上，当测头接触工件并发出采点信号时，由控制系统采集当前机床叁轴坐标相对于机床原点的坐标值，再由计算机系统对数据进行处理，计算出工件的各点（虫，测，锄）坐标及各项

叁坐标测量仪是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为叁坐标测量机或叁坐标量床。

工作原理：通过在叁个相互垂直的方向上有导向机构、测长元件、数显装置，测头可以以手动或机动方式移动到被测点上，当测头接触工件并发出采点信号时，由控制系统采集当前机床叁轴坐标相对于机床原点的坐标值，再由计算机系统对数据进行处理，计算出工件的各点（虫，测，锄）坐标及各项

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• 长度测量系统：如 RENISHAW 开放式光栅尺，分辨率可达 0.1μm，用于精确测量各轴的位移量。

• 测头系统：包括雷尼绍控制器、测头、测针等，测头以接触或非接触等方式传递讯号，获取工件表面的坐标信1。

工作台：用于放置被测工件，通常采用花岗岩材质，具有较强的承载能力和良好的稳定性，如高精度（00 级）花岗岩平台，能保证工件放置的平稳性和测量的准确性。

• 导轨：叁轴导轨一般采用天然高精密花岗岩，四面全环抱式矩形结构，配上高精度自洁式预应力气浮轴承，保证了整体具有相同的热力学性能，避免热膨胀系数不同造成的精度误差，且轴承受力稳定均衡，有利于延长机器硬件寿命1。

• 驱动系统：常见的有直流伺服系统，通过柔性同步齿形带传动装置等驱动各轴运动，各轴均有限位和电子控制，传动快捷、运动性能佳

• 机械系统

• 测量系统

• 控制系统：采用进口的双计算机三座标专用控制系统，可实现对测量过程的精确控制和数据采集，并具有计算机辅助 3D 误差修正技术（CAA），保证系统的长期稳定性和高精度。

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• 测量功能：包括尺寸精度测量，可精确测量工件的长度、宽度、高度、直径等尺寸；定位精度测量，确定工件上各点的准确位置；几何精度测量，检测直线度、平面度、垂直度、平行度等几何形状误差；轮廓精度测量，对工件的轮廓曲线或曲面进行测量和评估

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